二手 GASONICS Aura 1000 #293827650 待售

GASONICS/NOVELLUS A 1000是一种半导体asher/etcher，设计用于先进的等离子体蚀刻和沉积过程。它具有一个大容量的加工室，可以容纳超过50个晶圆在标准的8英寸，300毫米晶圆卡带。腔室加压，可实现最佳气体管理和减少工艺污染物。机器还配备了可以处理复杂过程的机器人，并提供具有高可靠性和可重复性的多轴运动。GASONICS A 1000由最先进的微处理器和控制逻辑提供动力，精确执行复杂的过程。控制过程的数字数据使用常用的GASONICS等离子体语言（GPL）编写,该语言为每个过程量身定制。NOVELLUS A1000还具有NOVELLUS SPC-1000™软件,它提供了一个图形用户界面（GUI）来监控和控制流程。SPC-1000™使操作员能够在进程进行期间实时监视、控制和调整参数,并存储配方、数据和结果。BASE GASONICS/NOVELLUS A1000模型带有感应耦合等离子体源和二极管感应电子束源,能够实现快速脉冲和高速率沉积,具有复杂的均匀性控制和优越的材料质量。Pwner可选的工艺气体，包括氧气和氮气的形式，允许清洁、氧化、沉积和蚀刻材料。该机还包括由两级旋转筛分泵和低维护涡轮泵组成的涡轮泵系统。除了标准的蚀刻和沉积功能外,A 1000还提供用于蚀刻前清洗、蚀刻后清洗、钝化和剥离过程的选项。GASONICS A1000将蚀刻和沉积工艺结合在一个工具中，为设备制造技术提供了一种高效可靠的方法。NOVELLUS A 1000凭借其精密的工艺控制和众多的高性能功能,可提供卓越的效果和高度的控制。