二手 GASONICS Aura 1000 #293831504 待售

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款先进的蚀刻/aser设备，设计用于纳米级集成电路的大批量生产。该系统能够对尺寸小至10 nm的特征进行蚀刻和灰化处理,并基于高度可靠的模块化体系结构构建,可适应各种应用。该单元利用先进的技术来实现最高的产量和最精确的蚀刻和灰化最复杂的特征。可用于制造晶体管和其他具有纳米尺度尺寸的电气元件。机器附带高级控制软件,它提供蚀刻和灰化过程的实时可视化,以确保每次生成所需的特征几何。该工具包括自动和半自动清洗系统，以及FOUP（前开口统一吊舱）和POAT（波兰和氧化物应用托盘）装卸系统，以确保连续高效运行。资产还由一个先进的2.5 kW离子源提供动力，该离子源可以进行调整以提供最佳的蚀刻和灰化结果。NOVELLUS/GASONICS Aura 1000还具有先进的污染控制功能，如RF自清洁模型和专用的颗粒过滤器。设备保持洁净室环境，尽量减少污染和颗粒损坏的风险。这确保了高产量生产纳米级集成电路。该系统除了具有先进的功能外,还具有最大的正常运行时间和可靠性,并为维护和维修提供高级支持。该单元还被设计为具有灵活性和可扩展性，因此可以用于广泛的大容量应用。GASONICS/NOVELLUS/NOVELLUS/NovELLUS Aura 1000以其高度的自动化、软件控制和先进的蚀刻/灰化技术，是高批量生产纳米级集成电路的理想蚀刻/灰化机。