二手 GASONICS Aura 1000 #9241898 待售

GASONICS Aura 1000是一种最先进的蚀刻器/asher设备，在集成电路的制造中广泛用于半导体工业的等离子体蚀刻和剥离工艺。这套先进的系统融合了尖端技术和创新功能，为关键半导体制造应用提供高精度、可靠性和过程控制。Aura 1000具有多功能的腔室设计，允许广泛的工艺能力，包括蚀刻各种材料如硅、二氧化硅、氮化硅和金属，以及光刻灰泥。该机组配备了多条气体管线和质量流量控制器，以精确控制工艺化学和气体流速，确保整个晶片均匀一致的蚀刻和灰化性能。GASONICS Aura 1000的关键亮点之一是其先进的等离子体生成机，利用高频射频电源在工艺室中创造出高度均匀稳定的等离子体。等离子体化学在确定晶圆特征的蚀刻选择性、蚀刻速率和轮廓控制方面起着关键作用。该工具为等离子体参数提供了可自定义的调谐选项,例如功率、压力、气体成分和偏压,以优化特定设备结构和材料的工艺条件。除了等离子体生成资产外，Aura 1000还配备了一种创新的气体分配模式，确保向晶圆表面高效、均匀地输送工艺气体。该设备采用了气体喷头技术，能够精确控制气体流动模式和分布在晶片上，从而在整个晶片表面实现均匀的蚀刻和灰化速率。气体分配系统还促进快速气体净化和腔室清洁周期，以尽量减少过程停机时间，并最大限度地提高吞吐量。GASONICS Aura 1000具有先进的端点检测功能,能够实时监控蚀刻或灰烬过程以及对过程端点的精确控制。该装置利用光发射光谱（OES）或其他复杂技术来探测等离子体发射光谱的变化或与完成蚀刻或灰烬过程有关的其他工艺参数。这样可以实现准确的端点检测和过程控制,确保关键设备结构的最佳蚀刻深度均匀性和选择性。此外,Aura 1000还集成了全面的流程数据记录和配方管理机器,使用户能够存储和检索流程配方,实时监控流程参数,并分析历史数据以进行流程优化和故障排除。该工具的用户友好界面提供了对过程参数、警报和状态指示器的直观控制和可视化,使操作员能够轻松设置和监控蚀刻或灰烬过程,而无需进行最少的培训。总体而言,GASONICS Aura 1000是一种高性能蚀刻器/asher资产,为半导体制造应用程序提供无与伦比的工艺控制、精度和可靠性。凭借先进的等离子体生成、气体分配、端点检测和数据管理功能,该模型为制造下一代集成电路提供了卓越的蚀刻和剥离性能。