二手 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9196372 待售
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ID: 9196372
晶圆大小: 4"-6"
Plasma asher, 4"-6"
P/N: 15698-02
QUARTZ Chamber
With ENI OEM-12B-06 RF Generator
Power control
BIS 15677-02.
GASONICS/BRANSON/IPC 9104是一款先进的蚀刻器/asher,专为在医疗、光学和其他行业中保持高吞吐量、高产量和高质量的结果而设计。蚀刻器/asher具有用于蚀刻、清洁和功能化Si、金属、玻璃和许多其他基板的多个源液体射流。IPC 9104使用专有的主动温度控制设备,为蚀刻和灰化提供最佳的工艺温度和均匀性。该系统还允许在蚀刻和灰化过程中进行快速的过程更改和精确的过程控制。此外,此蚀刻器/asher还具有先进的数字Vibrasonic搅拌装置,可确保一致的蚀刻/灰分轮廓以及卓越的均匀性和表面。其先进的数字振动搅拌机有助于消除不需要的反应产物，最大限度地减少缺陷和变异性。BRANSON 9104还由高级模拟NiS/InS配置的PC平台提供支持。此PC平台支持远程流程监视、配方存储和编辑、统计流程控制以及流程历史记录存档。此外,功能强大的NiS/InS平台允许跨多个流程参数对流程进行自定义和优化。9104是寻求高吞吐量、高产量、高质量蚀刻和灰化过程结果的用户的理想解决方桉。凭借其先进的数字Vibrasonic搅拌工具、主动温度控制资产和功能强大的NiS/InS配置的PC平台,此蚀刻器/asher在最高性能级别上产生了一致的结果。此外,它的设计允许对过程进行自定义和优化,并且易于为所有类型的用户操作。
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