二手 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9251583 待售
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ID: 9251583
晶圆大小: 4"-8"
Plasma asher, 4"-8"
(2) Channels
Quartz barrel: 12" x 22" Diameter
Soft pumping and purge valving
(2) Mass flow gas inputs with VCR fittings
Stainless steel plumbing
Temperature monitor: Quartz-coated thermocouple in process chamber
Multi channel / Single board computer controlled with floppy storage
ENI OEM 12B RF Generator: 1250 Watt
13.56 MHz Air cooled with automatic impedance matching network
Display: Touch screen, 21"
For control and monitoring of process parameters
Automatic recipes or manual plasma treatments
Temperature controller
(4) User specified gases with 500 sccm stainless steel MFCs
NEMA-12 Wall mounting enclosure with locking handle
Process pressure: ~120- 2000 mtorr
CE Certified
Power supply: 208-240 Volts, 3Φ, 50/60 Hz, 5 wire.
这款蚀刻器/asher是IPC制造的高速自动湿法加工机。它能够对晶圆、厚膜、硅等各种基材进行蚀刻和灰化。该系统由三个区域组成：酸/溶剂和环境罐、工作区和烤箱区。酸性/溶剂罐含有一个篮子手推车，最多可容纳十五个4英寸/100毫米晶圆，并为最多三个独立的罐提供精确的酸控制。溶剂和酸的量可以由机器自动调节。篮子手推车从油箱中取出清洗，油箱可以补充。工区是工序的核心，并进行蚀刻或灰化动作。微控制器驱动喷头将酸/溶剂输送到晶片站。微控制器还控制SCR电源控制器，该控制器提供高频能源以电子方式激活蚀刻/灰烬过程。这是机器真正闪耀的地方，因为它可以同时执行蚀刻/灰化，而所有其他过程条件保持不变。烤箱区域有助于在蚀刻/灰化过程后干燥晶片。烤箱室由不锈钢构成，在最终干燥过程中可以达到700摄氏度的温度。温度可以用可调时间和温度参数集来设置和控制。总体而言，GASONICS/BRANSON/IPC 9104是一款精确的蚀刻器/asher。它具有高速过程以及可调节的时间和温度参数集。该机还包括一个不锈钢烤箱区，以确保蚀刻/灰化产品的完美干燥。有了这台机器，用户每次都能期待优异的成绩。
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