二手 GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9093681 待售

GASONICS/NOVELLUS 2000 II是一种用于生产电子产品的蚀刻器/asher。该机基板尺寸可达254毫米（10英寸），图桉面积可达81平方厘米（12.6 "x 6.4"）。它可以蚀刻金属、电介质、合金、对二甲苯涂层和硬烤光刻胶。GASONICS 2000 II利用GASONICS专利技术COST Beam（通过蚀刻控制溅射）进行等离子体蚀刻。该机设计为高吞吐量,结合快速、精确的过程控制.它还配备了用于增强等离子体蚀刻过程的自动BOOST Beam。NOVELLUS 2000 II在製程室内的製程压力范围为1-4 mTorr，製程时间长达20分钟。它具有3.2 µm或更高的高速临界尺寸（CD）精度。可以使用可选的源数组来扩展机器的蚀刻能力。这包括一个大功率CEM激光源、直流溅射源、OES或电子回旋共振（ECR）等离子源。工艺温度控制与先进的冷却选项相结合，包括基于蒸发的冷却和向下对流冷却。2000 II是一个全金属双级平台，具有集成的基板加热系统和快速流动的气体输送。2升（低压蚀刻）和4.85升（高压蚀刻）的加工腔室体积可用于蚀刻工艺。GASONICS/NOVELLUS 2000 II包含过程监视设备,其中包括激光光谱仪、实时粒子监视器和后视图光学剖面仪。LT产品可用于高级过程控制。它配备了用于改进过程控制的Benchtop Vision System。GASONICS 2000 II是蚀刻各种材料的理想工具，包括银、铜合金和对苯二甲酸涂层，用于先进的生产工艺。该机具有高精度、过程控制和监控设备，是产生高度复杂且浪费最少的模式的理想选择。