二手 GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9129593 待售

GASONICS/NOVELLUS 2000 II是一种全自动设备，用于在各种基材材料中蚀刻或灰化晶片。它旨在为要求最苛刻的蚀刻和灰化应用程序提供业界领先的性能。GASONICS 2000 II以GASONICS Integrated Technology Platform（ITP）为基础，该平台具有两个使用独特双反射器架构的激光基集成光学甲板。这使系统能够在蚀刻和灰化过程中获得最高的分辨率、质量和吞吐量。NOVELLUS 2000 II具有可变压力（VP）处理功能,可用于蚀刻和灰化应用。VP处理允许工艺室中的压力条件越来越低，这取决于材料和工艺流程。这有助于优化设备性能并提高工作效率。2000 II还配备了高级工艺控制（APC）等多种功能，使机器能够根据材料和工艺流程在蚀刻和灰化过程中调整参数。该工具还具有可选的多处理室（MPC）,允许同时或按顺序运行多个蚀刻和灰化过程。该资产还具有高端视频辅助功能,使操作员能够在大型显示器和内置诊断模型上实时查看晶圆处理。这有助于监控设备性能并快速检测错误。最后，GASONICS/NOVELLUS 2000 II还有一个集成的晶片处理系统，包括一个盒式装载单元和一个用于重型晶片的臂加载机，使工具能够快速高效地处理大型晶片。GASONICS 2000 II资产的这些先进功能使其非常适合高端蚀刻和灰化应用,从半导体器件到MEM、LED等等。其高精度和精确度是任何其他型号都无法比拟的,使其成为全球蚀刻和灰化实验室的首选。