二手 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9151439 待售

GASONICS / NOVELLUS 9102
ID: 9151439
Plasma etcher.
GASONICS/NOVELLUS 9102 蚀刻器/asher是一种高精度的模具级材料蚀刻工具。它为广泛的商业、工业和医疗应用提供高精度的材料去除能力。该设备利用脉冲激光束进行材料蚀刻和去除,并通过激光束泵送冷氮气来操作,以保护周围的表面和部件免受热损伤。它已被用于生产MEMS和半导体器件,以及医疗器件制造和芯片实验室器件。GASONICS 9102设计用于将曲线、线条、图桉和特征蚀刻到工件中,而不会损害细腻的底层特征。该系统是可编程的,可以一次处理多个模具。它还能够处理玻璃、硅、专利、陶瓷、金属等多种材料。该机配备了高精度的F-Theta聚焦单元,允许执行复杂的结构和亚微米光刻。NOVELLUS 9102是一款可靠、快速、高效的蚀刻器,提供卓越的品质模式和功能。它的占地面积仅为10ft2,使其能够用于研究设施和实验室。其高度自动化的设计支持无人值守的蚀刻和材料应用。其强大的能力通过其实时激光控制得到进一步增强,提供持续时间短至10纳秒的单频能量脉冲。9102具有简单的用户界面,并提供出色的热控制,使蚀刻深度均匀。它还提供精细材料去除和微调蚀刻控制的气体溷合能力。创新机器处理速度快,是工业和医疗应用的高效选择。由于其坚固的结构和合理的价格,它越来越成为研究人员和商业工程师的首选。
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