二手 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9238248 待售

GASONICS/NOVELLUS 9102是一种为微制造和纳米加工应用而设计的蚀刻器/asher设备。本机用于薄膜蚀刻和材料溅射，在基板上创建小规模特征。GASONICS 9102配备了两个高功率KrF激光器，能够在直径达4英寸的基板上蚀刻25 nm的特征。此外，NOVELLUS 9102还配备了多达4个低温输送系统和4个蚀刻/溅射源。9102高度自动化,具有易于使用的图形用户界面（GUI）,使用户能够快速设置其蚀刻过程。GASONICS/NOVELLUS 9102具有光学监控、压力、温度等多种过程控制功能。该系统还配备了自动重启功能和动态热控制单元。GASONICS 9102有多种工艺室，包括单室、双室和带大载荷锁室的单模室。更复杂的系统有多个腔室和大腔室大小。NOVELLUS 9102能够以极高的速度蚀刻/溅射，这对于大容量的应用尤其有利。9102与金属、半导体、玻璃、合金、陶瓷、有机材料等各种基材配合使用良好。此外,基于Windows的GUI软件允许实时过程监控和优化,以实现最高的生产效率。GASONICS/NOVELLUS 9102的层厚精度为0.5%或更高，重复性为0.3%。综上所述，GASONICS 9102 蚀刻器/asher是一种多用途的机器，它结合了速度和精度，能够实现高精度的微纳米制造。其高功率激光和动态热控制工具使其成为生产过程中可靠的工具。NOVELLUS 9102以其人性化的GUI易于使用，与多种基板兼容。