二手 GASONICS / NOVELLUS A 2000LL #293595026 待售
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ID: 293595026
Asher
Part No: 99-0339
Non-copper
Components:
Qty / Make / Model / Description / Part number
(1) / - / - / Load lock chamber / A95-205-01 / 56-7923
(1) / GASONICS / 94-1175 / Indexer elevator / 04630-003
(1) / GASONICS / 94-1174 / Indexer elevator / 04630-004
(2) / GASONICS / 94-1118 / Load lock elevators / 04290-201
(1) / GASONICS / - / Loadlock rear panel display / -
(1) / MKS INSTRUMENTS / Baratron / - / 122A
(1) / MKS INSTRUMENTS / 152 / Pressure controller / 152H-P0
(1) / MKS INSTRUMENTS / - / Valve / 253B-11020
(1) / - / - / HNL Asher module / -
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281-701
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281703
(1) / OMRON / Sysmac C40H / PLC / C40H-060R-DE-V1
PCB:
Make / Model / Description / Part number
GASONICS / - / Controller board / 90-2658
GASONICS / - / Display decoder / 90-2609
GASONICS / - / Loadlock interface BD / 90-2608
HINE DESIGN / - / ARM Controller board / 02423-001 / 06764-001
NOVELLUS / A2000 / Interlock BD / 90-2735
Wafer handling robot / arm unit missing
CE Marked.
GASONICS/NOVELLUS A 2000LL是一款高性能蚀刻器/asher,专为先进的半导体制造而设计。它使用先进的等离子体蚀刻和灰化技术，使各种材料的控制蚀刻和灰化具有很高的精确度。该装置利用一个强大的磁控管来创建一个高能等离子体，这是非常有效的蚀刻和灰化各种材料。其先进的控制算法，以精确控制参数，确保最小的过程变化，可重复性和提高产量。为了获得所需的蚀刻和灰化结果，GASONICS A 2000LL采用了先进的2室系统，在蚀刻和灰化方面具有高度的均匀性和准确性。通过在第一个腔室中引入蚀刻和灰化气体的溷合物，开始了这一过程。电感耦合等离子体是通过用射频辐射照射气体而产生的，这将用于蚀刻和灰化材料。等离子体在蚀刻/灰化循环结束时被停用，腔室被清空加工气体。然后通过引入新鲜的蚀刻和灰化气体在第二个腔室中继续进行这一过程。该装置还利用有效的热管理技术进行精确的蚀刻和灰化性能。腔室的路径是温度控制的，以确保过程的均匀性和一致性。在该腔室中启用高压清洁循环，有助于减少侧向过度暴露。该设备还可以根据应用调整射频发生器的频率和大小。NOVELLUS A 2000LL以其先进的等离子体蚀刻/灰化技术、强大的磁控管和有效的热管理技术,是一种精确度较高的各种材料蚀刻和灰化设备。它提供了卓越的产量，过程可重复性和可靠性显着提高。
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