二手 GASONICS / NOVELLUS A 2000LL #293595030 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293595030
Asher
Part No: 99-0339
Non-copper
Components:
Qty / Make / Model / Description / Part number
(1) / - / - / Load lock chamber / A95-053-02
(1) / GASONICS / 94-1175 / Indexer elevator / 04630-003
(1) / GASONICS / 94-1174 / Indexer elevator / 04630-004
(1) / GASONICS / 94-1118 / Load lock elevators / 04290-201
(1) / GASONICS / 94-1119 / Load lock elevators / 04290-101
(1) / GASONICS / - / Loadlock rear panel display / -
(1) / MKS INSTRUMENTS / Baratron / - / 122AA-00010DB
(1) / MKS INSTRUMENTS / 152 / Pressure controller / 152H-P0
(1) / MKS INSTRUMENTS / - / Valve / 253B-11020
(1) / - / - / HNL Asher module / A93-021-01
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281-701
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281703
(1) / VARIAN / - / Valve / L6280-302
(1) / OMRON / Sysmac C40H / PLC / C40H-060R-DE-V1
PCB:
Make / Model / Description / Part number
GASONICS / - / Controller board / 90-2658
GASONICS / - / Display decoder / 90-2609
GASONICS / - / Loadlock interface BD / 90-2608
HINE DESIGN / - / ARM Controller board / 02423-001 / 06764-001
NOVELLUS / A2000 / Interlock BD / 90-2735
Wafer handling robot / arm unit missing
CE Marked.
GASONICS/NOVELLUS A 2000LL是一种高度先进的蚀刻器/asher,设计用于半导体行业的研发。这种装置能够在硅基板上产生极薄的材料层，精度只有一纳米。它利用化学蚀刻工艺和物理气相沉积技术来做到这一点。这可用于以受控方式将薄层材料如氧化铝或氮化铝沉积到散装材料基板上。GASONICS A 2000LL配备了两个强大的激光系统，其中一个用于蚀刻基板，另一个用于在其上沉积薄层。它还内置了一个传感器来监控工艺参数，这样用户就可以调整压力、温度和其他参数以获得更好的效果。它提供了极其干净的工作环境，其精确度和精确度无与伦比。NOVELLUS A 2000LL的光束大小可达200微米，其产生的层可以控制到1纳米的厚度。它是一种速度非常快的设备，能够每小时产生多达2000个晶圆。此外，它的效率和可靠性是一流的，它需要最少的操作员干预。最后，A 2000LL是专门为半导体工业研发用途而设计的一种高度先进的蚀刻器/asher。它是一种快速、安全的设备，精度和精确度都很高，能够在硅基板上产生极薄的材料层，精度只有一纳米。其效率、可靠性和清洁的工作环境使其成为研发应用的理想设备。
还没有评论