二手 GASONICS / NOVELLUS AE 2001 #293597599 待售

GASONICS/NOVELLUS AE 2001是一个蚀刻/asher系统，设计用于处理多种材料，特别是在半导体器件制造中。本机用于进行多种蚀刻和灰化操作，如深蚀刻、氢氟蚀刻、硫化物蚀刻、等离子体蚀刻等。它配备了多区动态过程控制，以便进行精确的温度和压力控制，从而实现最佳处理。GASONICS AE 2001是由一个加工铝基建造而成。它具有真空室，带真空泵和阀门，以及一个控制面板内置在前面。该工艺室还有两个用于装卸零件的机器人，以及两个加热器元件，方便过程加热。该机还具有两种化学输送系统，一种用于供应蚀刻化学品，另一种用于供应灰化化学品。NOVELLUS AE2001可以加工多种材料，包括金属合金、电介质和聚合物。其设计目的是提供一致的结果，具有可接受的化学均匀性、高分辨率和高精度。它还有一个车载数码相机系统，用于监控过程，以确保一维结果。AE 2001具有广泛的能力和工艺，包括深蚀刻、氢氟蚀刻、硫化物蚀刻、等离子体蚀刻、干蚀刻、化学蚀刻等等。这些过程中的每一个都能够以相同的精度和准确性实现自动化和处理。该工艺室的设计使操作更加安全和安静，而且易于维护和清洁。AE2001是一个可靠和多用途的蚀刻器/asher，适合各种材料。GASONICS AE2001以其多区动态过程控制、快门定时等自动控制以及在同一周期内蚀刻和灰烬的能力，可以成为任何设备制造过程中的宝贵工具。其可靠、准确的结果，加上易于维护和操作，使其成为许多应用的理想选择。