二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293586844 待售

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS AURA 1000是一种用于半导体器件制造的蚀刻器/asher，用于在基板上创建平坦的表面和定义明确的器件结构。GASONICS Aura 1000由气体输送模块、电源和物理平台三个主要组件组成。它旨在为各种基材，包括硅、石英和氮化物，产生均匀、高质量的结果。气体输送模块可实现广泛的工艺化学和材料特异性烧蚀工艺。它具有独立控制多达四种前体气体和几种氙气支撑气体的功能，具有独特的几何形状和层数的灵活性。典型的流量范围为0.1至10 SLPM，使气体流量控制准确，同时减少必要试剂的数量。压力稳定器能够控制室内压力，调节蚀刻速率，最大限度地减少表面缺陷的形成。该电源为设备提供可靠、高精度的电源传递,并具有出色的温度稳定性。它具有脉冲控制能力，范围从10到100 µs不等。电源还允许高功率传输,高达400瓦,具有可调的脉冲重复速率和频率。NOVELLUS Aura 1000的物理平台是为了稳定、鲁棒性和准确性而设计的。它的宽度为40英寸，长度为40英寸，高度为55英寸，安装在一个隔离的基座上进行振动控制，减少了由于运动而造成的晶圆断裂。它还具有一个大的无粒子工艺室，直径为20英寸，使得更大的晶圆尺寸可以一次处理。总之，NOVELLUS/Aura 1000是专门为半导体器件制造而设计的蚀刻器/asher。它具有材料特定烧蚀工艺的灵活性，可靠、高精度的电力输送，具有出色的温度稳定性。此外，它的大型无颗粒工艺室允许更大的晶片以更高的精度和稳定性进行处理，从而形成定义明确的器件结构。