二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293586845 待售

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一种高度先进、计算机控制的蚀刻/ashersystem,非常适合各种行业的生产。它是一种灵活配置的自动化半导体蚀刻设备,即使在高吞吐量下也能提供卓越的结构均匀性和较低的总特性高度。该系统的复杂性和多功能性使企业能够获得尽可能高的微米精度,同时还能将热应力降至最低。NOVELLUS/GASONICS Aura 1000具有用户友好的图形用户界面，使蚀刻参数能够快速调整和监控。该单元是紧凑和设计，以适应现有的半导体制造设备。它还能够处理各种材料，例如不同的化学和层组合，并提供广泛的腔室配置，以支持广泛的蚀刻工艺。GASONICS/NOVELLUS/NOVELLUS AURA 1000使用先进的气体输送机，使用一系列动态计量元件来精确控制和分析加工室内的材料分布。由于其先进的控制技术,该工具还提供卓越的吞吐量速度和表面清洁度,并具有高度精确的蚀刻效果。GASONICS/Aura 1000的设计考虑了安全和环境方面的考虑。它提供了一个全自动的高温转运站，可以消除潜在的环境危害，同时提供精确的温度控制和不间断的过程温度管理。资产还包括一系列安全和遏制功能，包括自动废气监测，以尽量减少任何潜在危险废物。NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000虽然非常先进,但安装和操作却非常简单。通过可调整和可定制的图形用户界面,可以快速配置它以适应单个蚀刻过程。此外，其先进的维护功能使模型的运行效率和无故障变得简单。总体而言,GASONICS/NOVELLUS/GASONICS Aura 1000是一种先进的蚀刻/ashersystem,可提供卓越的生产精度。它易于安装和操作，具有用户友好的图形用户界面，并且在设计时考虑到安全和环境问题。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000具有很高的适应性,能够处理各种材料,对于任何需要高度精确蚀刻/磨损结果的企业来说,都是一个极好的选择。