二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293594312 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在为45nm以下的设备制造提供先进、高精度的工艺。传统的蚀刻器用来凋刻底物的不需要的区域，而asher则使用化学过程使膜符合底物，提供"蚀刻"到非常精细、均匀的细节的能力。GASONICS Aura 1000结合了asher的精确度和常规蚀刻器的效率，提供了针对高性能、低成本和灵活性优化的解决方桉。NOVELLUS Aura 1000使用两个磁滤镜提供精确调谐、匹配的蚀刻和灰化技术。第一个过滤器是一个真空源路径，允许生产超细蚀刻结构的分辨率低至37.5nm。这是目前此类蚀刻/灰烬系统中可用的最佳分辨率。第二种滤波器是一种惰性气源路径，用于支持分辨率低于45nm的保形灰化。Aura 1000还配备了现场表面观测设备，采用光束成像和数码CCD相机。该系统提供对表面轮廓的内联监控,并允许调整蚀刻条件,以提高精度、分辨率和可重复性。该装置还支持用于蚀刻氮化物、多晶硅和铜层以及许多其他材料的光阻痕量蚀刻。多级处理能力是GASONICS/NOVELLUS Aura 1000的另一个特色。该单元允许在一个周期内对多层进行完全并行处理,最多可处理12级蚀刻/灰分。这样可以最大程度地灵活地将蚀刻/灰分条件从一种基材匹配到另一种基材。最后，GASONICS Aura 1000提供了多种工艺模块，允许快速适应其他蚀刻/灰烬工艺。这些模块为用户提供了更高的灵活性级别,并能够实现更高的吞吐量,而无需执行其他设置工作。综上所述，NOVELLUS Aura 1000是针对高性能、低成本和灵活性而优化的创新蚀刻器/asher。它的两个磁滤器和它的原位表面观测机使它成为提供无与伦比的分辨率和重复性的前沿装置。多级处理能力和过程模块也使其成为各种应用程序的理想选择。