二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619545 待售

GASONICS / NOVELLUS Aura 1000
ID: 293619545
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Asher, 6" 1994 vintage.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高端蚀刻器和asher,旨在生产低至纳米分辨率的高精度元件。GASONICS Aura 1000能够产生非常精细的特性,非常适合要求高精度和极高精度的应用。该设备可以蚀刻和灰烬到小至10纳米的深度,从而实现极其详细和复杂的设计。NOVELLUS Aura 1000具有灵活的生产线,可以处理广泛的应用。它可以编程为蚀刻和灰分金属,陶瓷,和半导体材料像硅。该系统配有精密控制室,提供恒定可靠的温度和压力控制,以产生优异的效果。该工艺被封闭在一个封闭的单元环境中,使其安全干净。Aura 1000配备了高级专有组件,可实现高精度和可重复性。这些组件包括蚀刻室、气体喷射器、用于气体分配的淋浴头式结构和PAVG源供应。这些组件的组合允许复杂的3D结构和精细的特征。机器的集成软件允许创建复杂的路径和特定于机器的过程,从而更容易访问生产记录并确保制造组件的质量。它还通过自动检查工具对蚀刻件进行视觉验证。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000具有卓越的准确性、速度和效率,非常适合汽车、航空航天和医疗行业。它旨在将特性尺寸降低到纳米分辨率,从而能够在较短的交货时间内制造出独特的元件。资产为高价值、高精度零件提供高效生产线。
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