二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619546 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高级蚀刻器/asher，用于先进的微加工和半导体制造工艺。凭借其多级架构，GASONICS Aura 1000提供了精密控制、高均匀性、吞吐量无与伦比的组合。它的先进技术可以适应现代设备生产的挑战，包括严格的公差和特征尺寸和几何形状的均匀性。NOVELLUS Aura 1000架构设计在优化生产吞吐量的同时提供最大的加工灵活性。它采用多轴机械平台，在整个循环过程中提供稳定、均匀的工艺环境，振动最小。其电动驱动和自动化使流程集成和配方的高级控制成为可能。内置诊断可快速反馈设备性能和准确性。Aura 1000提供了多种化学和沉积材料选择，允许用户创建广泛的几何形状和其他特征。它还可以支持不同来源的辐射能和可调节的加热器板，提供独特的环境来维持最佳的工艺参数。该系统能够处理各种基材材料，如石英、硅片、金属合金箔和有机聚合物基材。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000极为人性化，具有直观的图形用户界面（GUI）。它可以从任何启用Web的设备远程操作，其内置的可扩展数据采集单元允许连接到其他自动化系统、数据库和软件包。通过支持多个序列文件,可以针对不同的应用程序进行流程优化。GASONICS Aura 1000的高速机动化晶片夹紧机，加上先进的防护措施，有助于减少循环时间，让刀具以更快的速度产生更高的产量。它的多个工艺通道和可选的原位成像资产允许对多个基板进行并行处理。高级自动化确保了一致的结果和最佳的性能。NOVELLUS Aura 1000是生产尖端纳米和微量制造的理想选择。凭借其高端功能和直观的用户界面,它提供了前所未有的精确控制和高吞吐量组合,使用户能够应对现代半导体工艺的挑战。