二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293621802 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款先进的蚀刻/asher设备，设计用于生产半导体基元件。该系统能够进行蚀刻、切割和其他过程。GASONICS Aura 1000能够热处理尺寸不超过8英寸的晶片，并利用射频蚀刻、顺序蚀刻、2通道蚀刻和前面提到的技术组合等广泛的技术，是用于半导体产品生产、开发和研究的强大蚀刻/粉刷装置。NOVELLUS Aura 1000利用一系列气体分配系统，提高硬蚀刻工艺的精确度和一致性，允许半导体基材更精细的分辨率和更清洁的蚀刻轮廓跨越更大和均匀的尺寸。该装置的设计目的是从精确的温度设置中精确控制蚀刻/粉碎室的温度，确保能够实现精确的蚀刻过程。此外，该机组拥有先进的热射流通风机，在整个蚀刻过程中提供工艺室和基板的均匀冷却，防止基板过热和能量浪费。Aura 1000还包括一个气体操作模块，能够在蚀刻/粉碎室内的各种气体中调节气体压力和成分。这允许用户即时微调气体成分，同时确保蚀刻/粉碎器工艺参数在基材加工的持续时间内保持一致。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000除了具有蚀刻/灰化功能外，还提供了一系列额外的有用功能。它的高压、大功率脉冲发生器能够产生高能脉冲，允许创建坚硬、耐用、高密度的蚀刻/粉碎层进行蚀刻。它还具有用于深蚀工艺的控制工具，能够准确控制整个基板上的深蚀深度和均匀的蚀刻工艺。该单元还提供了一系列过程时间/温度自动化选项,允许用户根据自己的特定需求自定义其蚀刻/灰化过程。GASONICS Aura 1000提供了一系列蚀刻/asher能力，使其成为生产、开发和研究环境的宝贵蚀刻/asher资产。它的一系列工艺、控制选项和气体处理功能为用户提供了一个功能广泛、功能强大的蚀刻/粉碎器模型,能够在各种基板上产生一致和可靠的结果。