二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293622463 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高精度的蚀刻器或asher。它是一种用于制造超小型电子元件的工具，广泛应用于半导体和电子制造。GASONICS Aura 1000结合了先进的蚀刻技术和全面的功能，为制造领先的纳米技术器件创造了强大、可靠和经济的工具。NOVELLUS Aura 1000利用高端ElectroChemical Processing （ECP）提供了比常规蚀刻方法更高的精密蚀刻和更少的工艺缺陷。ECP是一种可靠且极精确的技术，利用加速、高能离子实现精细计划的蚀刻。光环1000与广泛的材料兼容，包括金属、电介质、塑料和合金。这使得它非常适合生产下一代半导体器件和其他组件。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000具有一系列功能,旨在确保最佳的过程控制和蚀刻均匀性,并节省时间和金钱。这些包括高位置精度、9个蚀刻程序范围、确保小特征精确蚀刻的高速10 X扫描、集成故障检测以及可调节的预蚀刻周期，以便在非金属材料上更快地蚀刻。这样可以确保蚀刻均匀性、蚀刻选择性和位置精度都得到优化,从而导致更高的产量和更少的工艺缺陷。GASONICS Aura 1000还具有工具维护自动化系统，使操作员能够轻松规划和监控预防性操作，减少停机时间并延长工具使用寿命。此外,GASONICS尖端诊断仪表板软件使操作员能够快速、连续地监控工具的状态,评估趋势并优化过程参数。总体而言,NOVELLUS Aura 1000是一款功能强大且可靠的精密蚀刻器或asher。它将高精度ECP蚀刻技术与一系列全面的先进功能相结合，非常适合生产下一代纳米技术设备。加上自动维护和诊断功能,Aura 1000为高精度蚀刻或灰化操作提供了经济高效的解决方桉。