二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9105746 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款先进的蚀刻器和asher，结合了GASONICS和NOVELLUS的既定优势，打造出一款健壮、高通量的工具。利用GASONICS/NOVELLUS低温反应离子蚀刻（RIE）技术，结合GASONICS高温工艺技术，GASONICS AURA 1000可以加工多种材料，是任何研发或商业应用的理想选择。NOVELLUS Aura 1000可以在广泛的温度范围内（需要时最高700 °C）进行蚀刻，确保了质量蚀刻轮廓和高吞吐量。NOVELLUS RIE系统由低温、高度感应线圈和控制电子设备组成,可实现精确的温度、压力和蚀刻流控制。这有助于确保一致的蚀刻配置文件和过程可重复性。Aura 1000还提供了通过GASONICS/NOVELLUS定向微电池RIE进行高级蚀刻的能力。此过程允许在垂直和水平过程中进行精确的定向蚀刻,并具有高精度和可重复性。例如,可以控制背面蚀刻过程,以确保所需的深度、空隙和特征形状和大小。GASONICS RIE和NOVELLUS定向微粉技术的组合有批量和单晶圆两种模式，使其成为需要定向蚀刻的研究和生产过程的理想工具。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款具有开放平台的即插即用工具，使其具有高度可配置性。此外,还提供了多种配件和选项,可让您根据工作流程定制系统。它旨在利用GASONICS/NOVELLUS和GASONICS领先的技术,并且可以随您的应用程序而增长。GASONICS Aura 1000是一款可靠且值得信赖的蚀刻器和asher，结合了两全其美。先进的蚀刻能力、高度精确的温度和压力控制,加上强大的高通量功能,使其成为寻求通用高效工艺解决方桉的科学家和工程师的首选工具。