二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9171308 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是Goliath级蚀刻系统，旨在满足光刻工艺的尖端需求。GASONICS具有一个单一的、类似沟槽的腔室，其中包含精确的计算机控制的射频加热元件，以实现卓越的精度和过程均匀性。GASONICS Aura 1000上的Etch腔室由涂有高性能陶瓷的硅基和石英基材料构成，有助于保护腔室免受腐蚀和颗粒的侵蚀。在内部，腔室配有一个集成的旋转器，允许对整个基板进行统一的加热过程。NOVELLUS Aura 1000还包括先进的机械真空控制设备，在腔室内建立真空环境。这与额外的射频加热元件相结合，可以使基板轮廓均匀，而不会影响基板材料的结构。Aura 1000还配备了一个先进的系统，用于监控被称为智能过程控制的蚀刻过程。该单元用于测量和监控腔室内的蚀刻环境，可以精确测量过程的温度、压力和射频频率等方面。机器也被编程为允许根据工艺应用的具体要求进行调整。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000还具有高精度的物料输送工具，允许物料的精确输送直接进入蚀刻室。它标配精密转换室，确保了清洁和高精度的材料输送和高基板吞吐量。作为一个额外的预防措施，机器还包括一个高压返回资产，防止任何空气中的粒子进入它的房间。GASONICS Aura 1000能够处理各种材料，从硅和石英到金属和陶瓷。它是可编程的调整参数，以允许各种材料的最佳蚀刻，包括最具挑战性的结构，如微观，沟槽，和遮罩层。NOVELLUS Aura 1000是任何蚀刻和粉刷设备的宝贵工具,能够大大提高工艺的效率和准确性。无论是加工敏感结构还是硬质合金材料，本机都是一种强大可靠的蚀刻选择。