二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9186489 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款下一代蚀刻设备，专为在硅片上大批量生产独特的高分辨率蚀刻特性而设计。它具有先进的直接驱动器平台,可实现更精确的功能蚀刻和简化的过程基础架构。它提供了对蚀刻参数的更大控制、更快的循环时间和卓越的薄膜质量,从而减少了过程中的缺陷。GASONICS Aura 1000配备了最新一代蚀刻硬件，基于GASONICS现场验证的CVD架构，可配置各种蚀刻模块。该蚀刻板采用微机电系统（MEMS）的蚀刻发生器阵列,能够对狭窄的沟槽和其他先进的蚀刻特性进行高精度图样绘制。此外,平台还支持移位寄存器体系结构,以减少在蚀刻步骤之间移动晶片所需的开销时间。NOVELLUS Aura 1000通过应用先进的配方优化算法保持可靠的蚀刻性能，该算法自动调整蚀刻参数以匹配晶圆的材料特性，确保一致的蚀刻性能。此功能在处理独特的薄膜或多层结构时特别有用。Aura 1000还配备了几个安全功能，包括封闭式腔室、安全关闭开关以及最新的联锁技术。它还设计为能够抵抗电涌和其他破坏性电源问题。此外，该机组还配备了排气过滤器，以减少工艺区域中存在的颗粒数量。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000可并行处理多达八个晶圆，并且设计为利用最新的高速通信协议，使其成为需要高吞吐量和重复性的系统的理想选择。它还与行业标准的工具和基础架构（包括自动化系统）兼容。总体而言,GASONICS Aura 1000是业界领先的蚀刻机,具有高精度蚀刻、快速循环时间和简化的工艺基础架构。凭借其可靠的性能和安全特性，NOVELLUS Aura 1000是半导体蚀刻应用的理想选择。