二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9188601 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款先进的蚀刻器/asher，用于先进的光刻工艺，用于集成电路（IC）的制造。GASONICS Aura 1000旨在支持广泛的应用和过程，如高端栅极氧化、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）和离子植入。利用多阶段蚀刻/灰分工艺进行精密工艺控制，提高蚀刻质量。NOVELLUS Aura 1000采用坚固、模块化和可扩展的设计进行组装,可提供可靠的工作环境和长期设备可靠性。它能够处理直径达300毫米的晶片，厚度范围为0.35mm。该系统具有多阶段体系结构,可提供精确的过程控制和改进的蚀刻质量。它具有自动吊盖、装卸系统，货架与货架完全一致。Aura 1000具有提供高分辨率和高宽高比蚀刻以及最小侧壁损坏的能力。它配备了包括高分辨率扫描仪、先进微处理器和精密溅射枪在内的几个先进部件。这些组件旨在提供极其精确的蚀刻功能,包括控制精细的特征支持间距和线宽。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000配备了高区扫描控制（ZSC）单元，用于小特征的精确蚀刻。它还具有快速扫描能力，快速蚀刻速率。机器先进的微处理器功能确保了蚀刻程序的快速实施。其超高速扫描控制可确保更精确的小特征蚀刻。此外，该工具还配备了强大的清洁技术，如高压雾化去离子化水浴，能够高效有效地清洁蚀刻后的基板。综上所述，GASONICS Aura 1000是一款用于高端光刻工艺的高级蚀刻器/asher。它是一种模块化和可扩展的资产，可以处理直径达300 mm的晶片，厚度范围为0.35mm。该型号配备了高分辨率扫描仪、先进微处理器、精密溅射枪等几个先进部件。此外,它还具有快速扫描能力,快速蚀刻速率,超高速扫描控制微细特征支持间距和线宽,先进的清洁技术,以及用于精确蚀刻小特征的高区扫描控制（ZSC）设备。