二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9194328 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款工业级蚀刻器/asher，专为纳米图案化敏感基板而设计。利用专利真空技术对晶片批与批之间的蚀刻速率、深度、均匀性和特征对准进行精确控制。蚀刻器/asher装有超高精密等离子体源，用于精确蚀刻纳米级图桉。该源利用无臭氧氦气，蚀刻速率高达每分钟20nm。由于其高精度，该单元可以在0.02nm均匀度下实现2nm级的特征尺寸。它包括各种硬件和软件功能,旨在降低拥有成本并最大限度地提高吞吐量。电源包括手动和远程控制选项。有两种基板映射的选择-手动和自动-允许用户选择所需的确切特征。GASONICS Aura 1000能够进行完整的测试，包括蚀刻速率和轮廓控制。用户可以使用的选项包括薄膜沉积、晶片成像、预蚀刻气体调节以及其他允许更精确蚀刻较小特征的尖端选项。该单元还具有嵌入式过程故障排除功能,可提供有关改进蚀刻过程的建议。该单元带有直观且用户友好的图形界面,为用户设置和监视流程提供了一个交互式环境。NOVELLUS Aura 1000还有一套诊断工具，允许用户快速诊断和修复问题。该单元还具有快速释放机器人技术，使用户能够在操作人员干预最少的情况下重新加载和卸载晶片。它还支持完整范围的晶圆形状和尺寸，让用户达到完美的图桉要求。总体而言，Aura 1000是一款功能强大的蚀刻工具，旨在为用户提供世界级的性能和可靠性。它设计用于研发和小型生产环境，非常适合各种微电子应用。