二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9210307 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一种精密的蚀刻器/asher，用于半导体生产和其他需要精确、可重复控制的复杂过程。是在200毫米和300毫米晶圆上加工铝等材料的高通量、先进的灰化设备。它能够处理多种基材，在吞吐量和抗残留还原方面提供卓越的性能。GASONICS Aura 1000具有先进的专利蚀刻技术,能够精确、精确地蚀刻铝和其他材料。它具有可扩展、高通量、均匀的蚀刻工艺,能够处理各种晶圆尺寸。一种不对称和对称涂层的组合，使得底物可以蚀刻而不会被削弱，并且在严格的工艺公差范围内。双室系统还具有单独的夹紧和灰化功能，可以根据需要对过程进行微调和控制。NOVELLUS Aura 1000还包括一个模块化设计，方便快捷的安装和维护。Aura 1000支持广泛的单元曲线、功率水平和腔室配置，以满足各种工艺的需求。与旧系统相比,它的吞吐量率（成本和时间节约）降低了100倍,并且可以有效地将临界尺寸变化减少50%。高通量、均匀的蚀刻工艺改进了对晶圆厚度均匀性的控制,并实现了可重复的生产就绪结果。该机器还具有广泛、直观的用户界面，用于编程、监控和推进流程流程。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000采用了先进的专有处理技术和先进的气候控制，以确保一致、优越的效果。它在蚀刻和抗剥离过程中提供了卓越的可重复性和均匀性,确保了优化过程。先进的晶圆处理技术提供了在蚀刻和灰化之间轻松切换的灵活性,而无需额外的设备。温度控制室还确保提高N2纯度和更高水平的过程可重复性。此外,GASONICS Aura 1000还具有高级自我诊断功能和详细报告,以确保工具的最佳性能。它利用先进的传感器和对蚀刻环境的严格控制来确保参数得到满足。高级自动化选项还允许用户即时进行调整,从而确保准确和可重复的结果。总体而言,NOVELLUS Aura 1000是一款功能强大且高效的蚀刻器/asher,能够处理多种材料。它是一个经济高效的解决方桉,可为各种流程提供可重复且准确的结果。它还易于安装和维护,确保可靠和长期的性能。