二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9241898 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是用于制造超精密集成电路的高品质蚀刻器和asher设备。该系统采用有源气源，以极高的精度沉积材料，使其成为当今现代高精度集成电路先进蚀刻和灰化需求的绝佳选择。GASONICS Aura 1000设计有六个单独的气源，允许独立的氧气、氟气和空气基气体。该装置还具有先进的腔室设计，可产生更高的精确度，可通过使用不润湿的集成气体屏障进一步改变。该腔室还设计用于减少颗粒计数，从而进一步提高蚀刻和灰分工艺的准确性和保真度。增加的控制选项使NOVELLUS Aura 1000更具动力和灵活性。其中包括一台能有效消除气体和废气颗粒物的先进排气机、专门为精确模式生成而设计的光刻工具，以及触摸操作的触摸屏控制。所有这些功能结合在一起,使Aura 1000成为当今最强大的系统之一。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000与一般可用的蚀刻和灰化系统兼容，进一步扩大了其应用范围。它设计用于9400系列、9500系列和9700系列纠错系统，允许频繁和一致的沉积。资产的精确度足以将物料直接沉积到基材上，大大简化了工艺。最后，GASONICS Aura 1000不需要任何额外的配件或用品，因为它设计为与原始设备一起运行。这样就不需要昂贵的安装,也不需要任何复杂的安装过程。在设备升级和保持准确、精确的结果方面，这可以是一个很大的优势。总之，NOVELLUS Aura 1000是一款先进的机型，提供精确度、精准控制和成本效益的出色融合，使其成为高级蚀刻和灰化需求的完美选择。