二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9242400 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高科技蚀刻器/asher，应用范围广泛。它有一个直观的用户界面，设计成以最少的操作员培训来工作，使其能够以简单高效的方式执行复杂的蚀刻和清洁任务。该设备具有低压阴极射线管等离子体源，允许它在不同的温度和深度蚀刻，同时保持均匀性。显示屏是全彩色液晶，直接链接到系统的车载计算机，使用户可以轻松控制蚀刻参数。GASONICS Aura 1000还有一个集成的粘合器/拆卸器单元，允许快速和精确的晶圆连接和拆卸。该装置具有快速批处理能力，意味着可以一批蚀刻、清洗和清洁数百个晶片，大大提高了吞吐量。等离子体保护机提供了一个故障安全的二次清洗阶段，以保证更好的过程控制。NOVELLUS Aura 1000有两步物理蚀刻过程：反应性离子蚀刻和等离子体化学蚀刻。这允许用户实现精确的蚀刻深度，以及精确的处理时间。蚀刻工艺还可以极好地控制层变薄，这在创建多层光刻胶或铜结构时很重要。该单元的使用寿命较长,需要最少的维护。可通过用户界面访问该工具,并提供故障排除和诊断功能,以实现快速、准确的工作。总体而言,Aura 1000是一种直观的高端蚀刻资产,专为高效、准确和方便而构建。其广泛的功能和自动化程度使其成为蚀刻或清洁应用的绝佳选择,为众多晶圆和组件过程提供卓越的性能。