二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9280985 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款蚀刻器/asher,旨在提供卓越的工艺灵活性和卓越的设备性能。该系统具有每小时6英寸晶片（wph）的生产能力,能够蚀刻尺寸从4英寸到6英寸的晶片。该工具为需要加工更大晶圆的制造商提供了一个宝贵的选择。它最多可容纳十六（16）个工艺室,为客户提供来自不同配方的各种工艺选择。GASONICS Aura 1000是一种高容量、高性能的蚀刻/增加工具,适用于广泛的应用。它结合了先进技术和用户友好的人机工程学，以简化操作和维护。由于在每个工艺室中集成了三种配方,因此该工具还提供了卓越的工艺灵活性。它还配备了流程智能、自动诊断和自动校准等创新功能。该单元具有蚀刻各种半导体材料的能力，包括硅、的和其他各种III-V化合物。NOVELLUS Aura 1000能够提供最佳效果,同时降低拥有成本。其设计采用先进的面向生产的控制机器，以确保高效、可靠和经济高效的蚀刻工艺。该工具采用多有效、多模式、多通道蚀刻平台以及易于使用的配方编程。整个资产还被设计为不断监督过程，并根据传感器模型的反馈进行调整。这样可以确保蚀刻过程与客户规范保持一致,从而提供卓越的工艺性能和周转时间。此外,Aura 1000还提供全面的工厂监控和过程控制,能够同时处理多个晶片。该工具符合ECD和其他相关行业标准,为高效、高精度的蚀刻工艺提供了理想的解决方桉。设备采用整体颗粒处理系统设计，确保用户环境不受污染，设备保持清洁。总体而言,GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款功能强大、用户友好且价格合理的蚀刻/asher,旨在为制造商提供经济高效且面向生产的工具,用于各种半导体蚀刻应用。