二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9284336 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款为半导体制造工艺开发的高性能蚀刻器/asher。它的设计既具有成本效益又可靠，为各种工艺中的基板加工提供了可靠和精确的平台。GASONICS Aura 1000具有获得专利的Auto-Polarity Conversion （APC）技术,可实现快速、精确的阵列设计。与其他系统相比,此设备具有更高的准确性和可重复性,并且能够对具有高长宽比和不同基板的系统进行蚀刻。此蚀刻器使用ALD、等离子体清洁和化学气相沉积（CVD）工艺来图样选择工艺、垂直对齐形状特征和真实步高恢复。NOVELLUS Aura 1000利用星型中心基板传输系统进行精确的基板处理和定位。这个单元提供精确的载荷、定位和基板的旋转。其他功能包括自动调平、自动晶圆映射、S级扩展和缩放处理吞吐量。此外，这款蚀刻器还具有集成超声波和晶圆清洗技术的基板清洗功能。这提供了有效和精确的清洁基板表面。此外，Aura 1000的等离子体机器使用低粒子过滤，减少了可能伤害设备的粒子堆积。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000附有高度整合的操作工具，提供对温度、压力和其他过程参数的实时监控。还有各种工艺配方、配置文件和设置,它们为操作员提供了自定义蚀刻和灰化工艺的灵活性。此蚀刻器易于使用和维护,具有用户友好的图形界面和全面的内置文档。总体而言，GASONICS Aura 1000是一款先进、可靠且经济实惠的精密半导体制造蚀刻器。其技术先进的设计、集成的工艺和基板处理，以及精心的清洗程序，为当今先进的半导体器件提供了高效、精确的蚀刻和灰化资产。