二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9390033 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高端蚀刻/asher设备，用于深沟接触图样和闪存等先进半导体应用。该系统采用专有的先进蚀刻技术，包括铜和预金属介电湿蚀刻，以产生高产量和优异的电气性能。GASONICS Aura 1000具有三个可配置的工艺模块,具有广泛的高级蚀刻化学选择。设备的加工头可根据每种材料和特征的特定蚀刻要求量身定制。它利用强大的自动化软件来启用可调蚀刻参数和运行无错误的进程。机器配备了高端的旋转卡盘，以适应各种晶圆尺寸，能够在不同的基板之间自动切换。它还能够处理平面和3D结构,例如铜柱和TSV堆栈。NOVELLUS Aura 1000的主要优点之一是它能够在一次运行中处理大量的基材。与其他蚀刻系统相比，Aura 1000可以通过同时处理多达24个晶圆来提高晶圆吞吐量和节省时间。除了处理能力外，GASONICS/NOVELLUS Aura 1000还拥有先进的监控系统，以确保一致的性能和可靠的结果。该工具结合了高级计量工具，以连续测量蚀刻率和调整资产参数，以实现最佳的过程控制。总体而言,GASONICS Aura 1000为蚀刻和粉刷高级特性和结构提供了理想的平台。通过提供全套蚀刻功能和卓越的工艺控制,NOVELLUS Aura 1000可帮助提高产品生产率和产量,同时提供可靠且经济高效的工艺解决方桉。