二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9392786 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款蚀刻器/asher,提供高生产率、低维护、中高吞吐量和一致的结果。机器的核心部件包括带有高功率射频发生器和低压环境的蚀刻室以及带有高压等离子体和微波发生器的灰化室。该机能对InP、GaAs、Si、SiGe等各种材料进行蚀刻和灰化。腔室的主要部件是工艺室、端铃、射频源、射频匹配单元、IGBT Match、真空设备、顶装机、波纹管、载重锁和排气系统。射频源的不同部件包括射频发生器、射频匹配单元、IGBT Match、射频火炬和射频阻滞器。微波源由用于灰化过程的磁控管和用于蚀刻过程的大功率磁控管组成。GASONICS Aura 1000是一款经济实惠的蚀刻/灰化装置，可处理直径达8英寸的200-300晶圆。它专为中高吞吐量而设计,提供多种蚀刻和灰化工艺。例如，它能够进行深反应性离子蚀刻（DRIE）、等离子体浸入离子蚀刻（PIIE）和等离子体辅助氧化灰化。该工艺室配有一套纳米颗粒清洁设施，以保证无颗粒基板。它还促进了可重复和可靠的温度控制，以确保最佳的过程动力学。这台机器还配备了OptiSelect软件,帮助用户选择最佳蚀刻和灰化过程,以获得所需的性能和结果。为了确保最佳工艺效果,NOVELLUS Aura 1000支持常规工艺监控和自动工艺优化。这包括监视参数,如蚀刻选择性、蚀刻速率、特征大小控制、间隙距离和掩码均匀性。此外，机器能够预测和检测过程漂移，从而防止明显的过程变化发生。总体而言,Aura 1000是中高吞吐量应用程序的理想蚀刻器/asher。它高效、易于使用,并提供可靠、可重复的结果。该机还配备了火花检测机等各种安全功能，以确保安全的工艺环境。