二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9398806 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高级蚀刻器/asher,旨在实现高级芯片比例特征设计。这种设备能够在2到10英寸大小的基板上对介电层和导体层进行复杂和复杂的蚀刻。它还能够加工包括聚酰亚胺、多晶硅和金属在内的各种材料。GASONICS Aura 1000在蚀刻方面提供了卓越的精确度和精确度，最小特征尺寸为0.5 µm，并具有卓越的光洁度。设备采用端点检测系统控制蚀刻速率和端点，无晶圆厂多掺杂技术允许过程内精确的掺杂测量。该工具还具有数字闭环控制系统和合成喷射清洗工艺。Auras 1000提供了一系列好处,包括降低运营成本和提高流程效率。其创新的软件平台旨在通过易于使用的界面和可调节的工具实现更快的上市时间。该设备还结合了程序简单性和增加的生产吞吐量。这确保了由于消除了手动参数调整而实现的无错误处理。NOVELLUS Aura 1000高度可靠，为编辑操作和密闭空间提供了洁净室兼容的环境。此外，这种蚀刻器/asher要求实施安全措施，以确保其用户和操作者免受伤害。Aura 1000的设计和建造也保护设备及其部件免受长期因磨损而损坏。与传统的同类设备相比，蚀刻器/灰化器也是环保的，产生的排放和噪音更少。而且，它的设计也节能，比类似的蚀刻系统消耗了大约15%的能量。最后，GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一种先进的蚀刻器/asher，其设计使电介质层和金属层的蚀刻更加复杂和精确。它结合了精确度、高吞吐量、易用性和安全特性,使其成为那些希望获得易于使用和高效蚀刻器/asher的用户的理想选择。