二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654416 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款用于半导体制造业的蚀刻器和asher。它独特的物理设计非常适合用于紧密且拥挤的工艺生产线,因为它的占地面积比许多竞争对手要小。该机器具有先进的光学、图像感应和增强的机器人控制功能，使设备能够显着提高加工产量。此外，它还具有广泛的自动化功能，包括晶片的装卸、气体输送和沉积，以及晶片对准和阵列。这种高效设计和可靠加工的独特组合使得GASONICS Aura 2000成为半导体制造的理想选择。该机采用特殊的快速激光图像扫描（FLIS）系统,能够快速准确地检测晶圆上所需的图样。此单元可实现极高的蚀刻精度,并具有更高的加工灵活性。此外,光学多路复用器允许机器执行多达八个并发蚀刻任务,从而提高其吞吐量并最大化机器的功能。根据所需的蚀刻参数,机器可用于多种工艺类型,包括线宽缩放、金属图桉、金属层沉积和定制设计图桉。在气体和沉积输送方面，NOVELLUS Aura 2000配备了五阀气体输送工具，使资产能够有效地同时处理多达15种气体。这一模式包括一个加油站，其中包括一个自动清洗单元和一个加油站，使技术人员能够远程控制气体流量和平衡。该机器还配备了完全自动化的处理程序设备,有助于提高吞吐量和降低人工成本。此外，由于其先进的机器人控制，该系统能够在晶圆上立即放置预定义的蚀刻层。此外,Aura 2000还具有多种安全功能。它包括一个双压力过滤单元，帮助净化气体进入腔室之前，以及激光安全联锁和多重保障措施，以防止因使用危险材料而发生事故。此外，该机还具有电气和阴极射线保护，以增加安全性。总之，无论应用如何，GASONICS/NOVELLUS Aura 2000都是高效、可靠、安全蚀刻和粉刷的理想选择。