二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654417 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一种轻而深的反应性离子蚀刻/asher设备，用于集成电路的制造。它用于创建、修改和优化金属化层、触点和通风孔、其他金属或半导体结构和金属线的几何形状。它是金属线条和图桉超细加工的先进工具，对金属结构具有很高的精度和尺寸控制。该系统采用高速蒸发器将液态金属溶液转化为输送到基板表面的蒸气。汽化金属颗粒以精细控制的方式沉积，内置的预清洁功能有助于优化光致抗蚀剂附着力，最大限度地降低随之而来的污染概率。一旦形成金属层，基板就被放置在等离子体反应器中，在那里可以通过压力、功率和停留时间等可调节的参数来优化反应性离子蚀刻过程。GASONICS Aura 2000拥有卓越的均匀性和选择性，使其成为"锥形"加工的完美选择，允许粗细金属线条以相同的图桉蚀刻。它还允许对透明绝缘材料进行蚀刻，从而在三维物体中实现多层金属化。该设备由GASONICS TM 10X操作平台提供动力,该平台提供灵活的流程配方和集成的数据记录,为操作员提供了对流程的极大控制,并对所获得的结构进行了详细的评估。它还包括一个16英寸液晶显示器，方便控制和监控机器。NOVELLUS Aura 2000以其优越的蚀刻效果和清洁度而闻名。即使在反应性离子蚀刻过程中使用的温度很高，其坚固的结构也能确保可靠的操作和稳定性。其极低的维护和排放速率使其成为最环保的蚀刻系统之一。