二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654418 待售
网址复制成功！
单击可缩放
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款高性能等离子体蚀刻器/Asher，设计用于多种半导体加工应用。这种等离子体蚀刻器/asher利用先进等离子体技术（APT）为先进金属，包括铝、铜和钛等提供蚀刻和灰化性能。GASONICS Aura 2000专为高端工艺性能和可靠性而设计，是业界蚀刻和灰化应用的黄金标准。NOVELLUS Aura 2000利用独特的专有低压等离子源（LPPS）实现其先进的蚀刻和灰化能力。利用这种技术，蚀刻速度由压力和腔室/源温度共同控制。压力和温度可以修改以满足客户的蚀刻和灰分要求。LPPS还实现了高离子密度，提高了蚀刻均匀性和选择性。此外,Aura 2000还配备了专有内部射频系统（PIRFS）,可在蚀刻速率和功率级别上实现精确高效的灵活性。PIRFS还可以实时监控过程,并通过控制整个基板上的单个蚀刻/灰分区域来微调过程。这样可以实现更高效的操作和更一致的性能。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000能够实现非常精细的线型深度和均匀性，使其成为设计具有挑战性的材料的理想选择。高蚀刻速率、均匀性和选择性使用户能够灵活选择满足其蚀刻需求的最佳配置。GASONICS Aura 2000还具有互锁和增强诊断等安全功能。诊断功能有助于确保系统正常运行,而联锁有助于防止在危险条件下运行。NOVELLUS Aura 2000是一款功能强大的蚀刻器/asher，提供与其他工艺工具的互换性，使其易于集成到任何半导体环境中。这种蚀刻器具有先进的特点和技术，非常适合金属、氮化物和氧化物方面的各种蚀刻和灰化需求。
还没有评论