二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293761940 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是用于集成电路和其他微电子器件制造的蚀刻器/asher。适用于加工生产、工程中使用的大多数常规蚀刻和灰化应用。该设备旨在提供快速、可靠和可重复的过程,同时保持卓越的灵活性和精确度。GASONICS Aura 2000采用了专利的三级工艺，旨在优化基板清洁和材料蚀刻。过程的第一阶段是蚀刻阶段。在这个阶段，一个必要的蚀刻化学和钝化层被应用到基材上。蚀刻化学和钝化层旨在分解基板上可能存在的任何有机或金属污染物，并设计成留下干净的基板表面。第二阶段为灰烬阶段。在这一阶段，氧气被引入室内开始灰化过程。氧气与表面污染物发生反应并氧化，使它们从固体变为气态。此外，灰化过程有助于清除蚀刻过程中可能遗留下来的残留物。过程的最后阶段是清洁阶段。在这一阶段，室内充斥着氮气，这有助于冲洗掉任何残留的工艺残留物。氮气还用于过滤出腔室大气中的杂质，从而确保腔室内部的空气清洁均匀。NOVELLUS Aura 2000配备了全套流程监控和自动化功能，确保了精确的流程控制和可重复性。该系统还配备了集成控制器，可以方便地进行单元编程和过程优化。机器还有一个直观的图形用户界面，可以让用户轻松快速地设置和控制工具。Aura 2000是各种蚀刻和灰化应用的理想解决方桉。该资产有助于确保快速、可靠和可重复的流程性能,同时提供卓越的灵活性和精确度。凭借其集成的自动化解决方桉,GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一种经济高效的解决方桉,适用于许多蚀刻和灰化工艺。