二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9077802 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款用于半导体制造的高端晶圆蚀刻器/asher。它设有两个工艺室，能够控制各种材料的沉积和蚀刻速率。它具有许多特点，如支持低k电介质、用于腔室监测的石英视口、多腔室基板载荷和偏置能力，以及离子和等离子源溅射的选项。GASONICS Aura 2000可以使用反应性离子蚀刻、深反应性离子蚀刻、有机蚀刻、高长宽比蚀刻等多种工艺，通过多种材料进行蚀刻。它还有一个内置的光学监控设备，允许对蚀刻过程进行实时监控。设备具有高级进程控制接口。它可以编程为运行标准进程或自定义进程以适应不同的层、设备和结构。它能够按顺序运行多个进程,从而缩短周期时间。它预先配置了一系列配方,旨在根据所需的蚀刻优化工艺条件。NOVELLUS Aura 2000还配备了一个自动阀门检查站，有助于确保蚀刻过程的一致性，提供可重复性和准确性。该装置配备了反应性气体和惰性气体输送系统的平衡。其目的是确保随着时间的推移可以进行更清洁的过程，同时兼顾对过程速度和清洁度的需求。它还配备了各种传感器和监测设备，以确保腔室内和晶片周围的操作安全，帮助避免任何事故。该机采用多种诊断和监控子系统构建,允许高级流程优化。它包括一个用于清除加工室内污染物的德加模块，以及一个用于自动晶圆蚀刻聚焦控制的自动聚焦系统。单元多腔兼容，与生产线中的其他工具容易集成。总体而言，Aura 2000是一款最先进的蚀刻和asher机器，专门设计用于简化半导体制造过程中的过程并提高吞吐量。它提供高精度和高产率的晶片蚀刻，以及各种控制功能和多种选择蚀刻气体和其他工艺。