二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9078051 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款为半导体工业设计的蚀刻/asher设备。它能够将先进的图样刻蚀成个位数微米，使其成为最精确的系统之一。GASONICS Aura 2000在超高真空室中使用电子回旋共振（ECR）来取得非常精确的蚀刻结果。该系统具有两种不同的ECR蚀刻能力-根据所需的蚀刻精度,其频率为2.45 GHz或2450 MHz。NOVELLUS Aura 2000还具有低频等离子体清洗功能，用于减少基板表面的损伤点，提高蚀刻效果。该单元具有直观的控制界面，带有图形用户界面（GUI），使控制蚀刻过程变得容易。Aura 2000有一个自动化的配方机，允许为多个基材设置多个配方。它还支持通过以太网连接或光纤链路的远程访问功能。此外，该工具还具有标准的行业接口，如SCSI-2和RS-232。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000机械部件的精确度使其适合于蚀刻先进的图桉和特点。直线级能够在三个轴上精确地移动基板，而电动质量流和真空系统能够以较高的稳定性和精度运行。该资产还具有非常精确的瞄准模型，有助于提高蚀刻工艺的准确性。GASONICS Aura 2000的高级工艺配方允许用户根据基材的要求优化蚀刻工艺。这使用户能够灵活地蚀刻不同类型的材料,而不会受到任何影响。该设备还具有自动调谐功能，有助于优化不同基板的蚀刻参数。总体而言,NOVELLUS Aura 2000是一个先进的蚀刻器/asher系统,能够获得高度精确的蚀刻结果。该单元拥有高精度瞄准机和先进的工艺配方，以及直观的控制界面和远程访问能力。凭借其先进的特性和功能，它是在半导体行业应用中蚀刻高级特性的理想选择。