二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9233409 待售

ID: 9233409
晶圆大小: 8"
Asher, 8" Model no: 99-0339 Install type: Tabletop Machine run time: 9,646 Hours Filament run time: 16,005 Hours Wafer passes: 7132 Includes: AURA 2000LL PR Strip BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump Microwave generator: NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E Position: Main chamber Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model 1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL 2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是专为半导体工业的先进需求而设计的高精度蚀刻器/asher。这款功能强大的蚀刻器利用蚀刻和灰烬技术的独特组合,生产出符合最高质量和可靠性标准的电路板和集成电路。GASONICS Aura 2000配备了多种高端特性,以确保最佳蚀刻/灰烬性能和效果。其超高分辨率光学设备每英寸分辨率可提供高达25,000条线,使其在蚀刻和灰度处理过程中达到最高精度。该系统还利用石英和电离气体室对复杂电路模式进行精确蚀刻,并利用高压蚀刻室对金属进行清洁和蚀刻。NOVELLUS Aura 2000还具备多种先进的物料处理能力。其高速晶片处理单元可以快速高效地装卸设备,而其先进的基于机器人的晶片分选器则提供精确的移动和放置。此外,其基于输送机的输送机能够准确交付和处理多达1,000个I/O端口的集成电路。最后,Aura 2000设计了一系列安全功能,以确保最佳操作条件。它的双控制器模块能够监测和监督多个过程运行,各种传感器提供有关工具环境状况的数据。该资产还采用了先进的温度控制和高效运行冷却模型。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000设备是一款功能极其强大的蚀刻/灰化设备,旨在满足半导体行业的严格要求。其先进的光学系统和物料处理能力使其能够产生高质量和可靠的结果,其安全特性确保了设备的安全运行。
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