二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247833 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款高性能的化学蚀刻器/asher，为先进的研发提供最先进的蚀刻和灰烬处理能力。专为缩小设备制造工艺而设计,能够加工直径从0.5英寸到6英寸的基板。GASONICS Aura 2000提供了对蚀刻和灰化过程的精确控制，允许用户精确调整功率和气体成分，以达到理想的效果。这种灵活性得到了先进的过程控制技术的支持,允许用户在蚀刻和灰化过程中监视过程参数。NOVELLUS Aura 2000的高级设计最大限度地减少了蚀刻和灰化所需的时间。高精度喷嘴组件、先进的工艺控制技术、快速的点火时间以及支持大直径晶片的能力，使其成为许多应用的理想蚀刻器/粉碎器。Aura 2000也是高度可重複的，因此使用者可以自信地在多次通过中重现相同的结果。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000还具有先进的锁载技术，确保晶圆免受污染。它提供光学光眼感测和工艺自动化，并有一个可调的锁载室，以适应不同尺寸和形状的晶圆基板。GASONICS Aura 2000专为高效操作和易用性而设计。它具有直观的图形用户界面（GUI）和图形过程监控，允许用户快速调整蚀刻和灰化参数，以达到所需的效果。对于那些可能需要将蚀刻器/asher从一个位置移动到另一个位置的人来说,它的重量低是一个额外的好处。总体而言,NOVELLUS Aura 2000是一款高性能的蚀刻器/asher,它通过先进的工艺控制技术提供最先进的蚀刻和灰烬处理功能。它提供了快速的发射时间、可重复性以及容纳大型基板的能力，使其成为各种先进研发应用的绝佳选择。