二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9313666 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款为半导体、MEMS和纳米技术行业提供高精度、高通量ashing的蚀刻器/汇编器。GASONICS Aura 2000在最具挑战性的情况下提供了出色的蚀刻性能,其广泛的加工窗口允许生产世界上最先进的结构。这种最先进的设备旨在为晶圆和封装设备的拉伸、蚀刻和剥离提供最高水平的灵活性和成本效益。NOVELLUS Aura 2000配备了广泛的功能，以确保蚀刻应用过程中的精度和可重复性。它提供各种标准气体溷合物，包括氧气、HBr、CHF3，从中可以校准蚀刻时间和蚀刻速率。它具有简单的命令界面，允许用户在蚀刻过程中轻松更改设备参数并选择合适的时间、压力和温度。它还具有预热保护能力，以保护工艺设备免受热衰减，同时提高蚀刻速率和质量。Aura 2000采用专利气体喷射系统构建,可实现无故障喷射-允许以最小的气体消耗实现非常快速的吞吐量。它配备了两个灰烬，一个低温灰烬和一个高温灰烬，以最大的灵活性。在细腻结构的蚀刻过程中,低温可实现高精度和重复性,而高温则可实现高蚀刻速率的快速吞吐量。Aura附带了一个小尺寸的硅胶样品，允许用户立即开始蚀刻。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000旨在满足最高的行业安全标准,并具有经过认证的外壳,可确保免受有害气体流动的影响。该系统还具有自动速度控制和气体隔离，有效控制蚀刻操作。此外，利用惰性大气进行晶片保护可最大限度地减少缺陷的形成，同时最大限度地提高产品产量。所有组件都安装在单个机箱中,以确保易于维护和卓越的可靠性。GASONICS Aura 2000为用户提供了灵活性、便利性、可靠性和成本效益,使其成为市场上最大的蚀刻器/组装商之一。它独特的特点，坚固的结构和精密的设计使它成为任何半导体，MEMS和纳米技术应用的绝佳选择。