二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605214 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是蚀刻器/asher的理想蚀刻和清洁半导体晶片。它是完全自动化的,具有用于介电工作的手动覆盖功能。液晶屏用于所有设置、编程和过程控制。该单元有两个完全独立的同时处理蚀刻器，以及两个快速并行处理的过程室。GASONICS Aura 2000的特点是有一个反应堆室，设计用来容纳多达四个尺寸达200毫米的各种晶片，以及具有特殊几何形状的样品。它配备了强大的射频感应发电机，由可调节频率的数字电源驱动，允许精确控制等离子体蚀刻过程。电感还能够驱动可根据工艺需要调谐的单频线圈或双频线圈。NOVELLUS Aura 2000还配备了被称为多功能RF-Ready Beam Creel的高精度钢包或船送货设备。这个先进的系统能够精确地输送蚀刻剂、化学品和其他反应物。托盘上装有射频探针，用于晶圆的精确定位和蚀刻剂的精确输送。Aura 2000还有一个集成的多气体输送装置，用于精确的流量控制和快速分析。这台机器可以完全自动化的一个或多个气体输送，允许精确的控制和多模配方的灵活性。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000与一系列工业标准等离子体蚀刻工艺完全兼容，包括基于硫酸盐的沉积、溅射沉积、反应性离子蚀刻、气体去除和污染蚀刻。其先进的工艺腔室设计确保了在任何时候都能精确而均匀的腔室温度，使其成为各种蚀刻和清洗工艺的理想选择。最后，GASONICS Aura 2000具有多项安全功能，例如内置数字控制工具和安全锁，确保只有经授权的人员才能进入该单位。该资产还具有四个级别的紧急停止能力，使操作员在发生紧急情况时能够快速、安全地做出反应。该单元还包括一个先进的诊断模型，在发生紧急或异常操作时可以生成详细的报告和警报。
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