二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293658974 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一种蚀刻器/asher，设计用于处理广泛的材料，包括硅、金属、复合半导体材料和光抗蚀剂。设备具有先进的蒸气相蚀刻能力，实现了微电子、生物医学、机械应用材料的高性能加工。GASONICS AURA 2000LL 蚀刻器/asher利用低压射频气体对导电材料和非导电材料进行精确蚀刻，同时保持极好的均匀性和吞吐量。它还利用先进的诊断和过程控制系统来确保过程的可重复性,并在整个过程中保持准确性。该机器适合专业用户和业余用户的需求，具有自动化和手动调谐功能，为新手和经验丰富的用户提供简单易行的操作。该机由加工室和蚀刻气体输送系统两个模块组成。主室能够接受直径最大为5英寸的晶片，并有一个完全凹进的扩散板，以最大限度地提高整个表面的蚀刻均匀性。气体输送单元设有数字压力控制功能，允许通过气体流量调整进行精确蚀刻。集成的控制系统允许对所有蚀刻参数进行完全控制和可视化,从而可以更轻松地设置和简化实现最佳蚀刻结果的过程。这与内置的单点检测机相结合，该机连续监视蚀刻过程，并产生指示蚀刻进度的读数。NOVELLUS AURA 2000 LL 蚀刻器/asher是一种高度精确、可靠和生产性的工具,适用于广泛的蚀刻应用。其卓越的过程控制功能提供了一种简单准确的方法来实现一致的结果,而其直观的用户界面使其易于使用。该机适合任何需要高精度蚀刻的应用，其低维护和经济实惠的设计使其成为任何大小操作的理想选择。