二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9113641 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一种用于先进制造的蚀刻器/灰度设备,可提供精确的生产和高吞吐量。其设计目的是为半导体晶圆制造提供可靠的高密度等离子体（HDP）工艺。这个最先进的系统是完全自动化的过程日志，报警，和一个用户友好的触摸屏简化操作。GASONICS Aura 2000LL采用先进的HDP技术以提高精度。可变压力单元有助于最大限度地发挥处理过程的能量潜力，同时保持一致的等离子体环境。此外，该机采用了改进的清洁处理方法，减少了缺陷，提高了产量。该工具配备了全面的检测和无缺陷功能，以实现更好的产品质量和过程稳定性。其先进的实时故障检查确保了平稳运行和快速报警响应。此外,配方会随着流程参数的变化而自动优化和调整,而集成视觉资产则利用高级流程监控和检测。该模型还具有先进的机械设计和先进的涂层能力,以提高精度。先进的自动晶片输送设备可确保产品流畅,而低质量设计可减少剧烈振动。此外，它处理各种晶片和基材的能力使它成为一种用途广泛且可靠的工具，可以执行各种任务。NOVELLUS AURA 2000 LL是一个功能强大且可靠的蚀刻/asher系统，用于先进的半导体制造操作。其先进的HDP技术、全面的检测和无缺陷功能、强大的配方优化功能以及先进的机械设计,为各种任务提供了精确的生产和高吞吐量。