二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9227352 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一款最先进的蚀刻器/asher，旨在满足半导体行业最苛刻的要求。此蚀刻器/asher利用创新的专有气体拓扑和分布式处理功能,使用户能够获得更高的吞吐量和卓越的设备性能。凭借其先进的加工能力，GASONICS Aura 2000LL提供了最高的收益率和一流的品质。NOVELLUS AURA 2000 LL围绕高功率、高性能的蚀刻器/asher头设计。这提供了当今最精确的设备所需的毫米级精度。先进的蚀刻器和asher腔室效率很高，能够将离子从蚀刻器有效地转移到asher并再次返回。这有助于缩短周期时间,并在长时间的流程运行过程中提供一致的结果。Aura 2000LL还提供了一系列高级功能,使用户能够精确控制蚀刻和灰化过程。它的高级过程控制功能允许用户为特定应用程序定制蚀刻/分类器,帮助提高分析精度并提高设备产量。该设备还配备了先进的等离子体发射监测（PEM）系统，使用户能够实时监测蚀刻过程。这有助于确保完美的设备性能和产量。AURA 2000 LL利用先进的气体输送装置来精确控制蚀刻/收集器。它允许用户为每个蚀刻/分离器定制气体速率，帮助确保一致的、可重复的结果。高级软件平台可帮助用户快速优化流程设置。GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LL每小时最多可处理60个晶圆，设计为在多种工艺条件下执行。总体而言,GASONICS AURA 2000 LL是一款创新的蚀刻/asher机器,旨在满足当今要求最苛刻的半导体应用的需求。凭借其先进的特性和功能,NOVELLUS Aura 2000LL为用户提供了无与伦比的精确度和性能。