二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293598156 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010是一款用于先进技术应用的精密蚀刻器/asher。其设计和强大的功能使GASONICS Aura 3010成为在材料工程和蚀刻/粉刷应用领域中使用的重要工具。该设备可轻松处理薄膜、蚀刻和退火等多种应用。NOVELLUS Aura 3010能够操纵步进解析度为10um的精密零件，并可配置高达8-5轴级的精密X-Y、Z、旋转运动。该单元还配备了用于精确温度控制和蚀刻轮廓控制的先进软件和自动化控制。光环3010有多种热源可供选择，使其可以处理一系列材料。这些包括结构金属、聚合物和光学堆积的薄膜。此外，该单元还可以配置多种面具，包括单级和多级，使其适合于各种阵列处理。GASONICS/NOVELLUS Aura 3010的设计也允许对工艺参数进行详细的控制。这包括控制温度、压力和反应室大小，以及改变目标材料厚度以产生精确蚀刻/灰度轮廓的能力。GASONICS Aura 3010还配备了广泛的输入和输出选项。其中包括以太网、USB和集成软件,以便于数据传输。此外，该单位还包括各种流程报告职能，用于审查流程参数和结果。总体而言,NOVELLUS Aura 3010是一款先进的蚀刻/asher,能够精确处理薄膜和结构材料。其设计支持精确的温度控制、掩蔽能力以及广泛的输入和输出选项。所有这些使其成为许多材料工程应用中的理想工具。