二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293752958 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010是一种用于半导体制造工艺的干蚀刻/asher工具。它是一种单晶片、单室系统，能够利用工艺气体在半导体晶片上选择性蚀刻和各向异性蚀刻高长宽比结构。GASONICS Aura 3010能够使用包括Ar/CF4/CHF3、Ar/O2、Ar/H2/H2O和Ar/CF4/O2在内的各种工艺气体。它具有Ultima™的溅射源，能够利用反应性离子蚀刻（RIE）和物理溅射来蚀刻或沉积薄膜。2-D阵列生成器用于创建高长宽比特征,并且可以使用该工具创建尺寸可达50 nm的特征。它还具有2-D全局查看器/磁控管监视器，用于检查蚀刻过程中的图样特征和均匀性。刀具的预洗净退火室用于在蚀刻之前对蚀刻反应室进行退火和清洗。它还包含射频（RF）偏差，以降低蚀刻选择性和改善蚀刻轮廓。实时控制系统允许用户监控、更改和优化蚀刻参数，以最大限度地提高蚀刻均匀性，最大限度地减少蚀刻损伤。还集成了压力、温度和低温冷却电容器，以提供精确和可重复的温度控制。集成等离子体系统的可调晶圆温度控制范围为10-100 °C。它还具有频率响应，可以更好地分布晶圆上的能量沉积，提高等离子体均匀性。此外，该工具还具有减少不稳定蚀刻过程中射频功率脉冲的功能，从而提高了工艺均匀性。NOVELLUS Aura 3010消除了使用多个处理系统在半导体晶片上刻蚀紧特性和高长宽比的需要。它是最苛刻的半导体工艺的绝佳工具，提供快速、可靠、可重复的处理，具有较高的蚀刻速率和选择性。