二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293767744 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 3010是专门为集成电路的高效模式设计的蚀刻器或asher。它是一种快速可靠的工具，用于现代光刻和半导体器件的制造。GASONICS AURA 3010利用一种先进的集成气体增能器，从中充分激活化合物，有选择地将所需的图样蚀刻到基板上。气体能量器（或蚀刻器）能够在不需要外部热源的情况下为不同的化合物如溴化氢、二氯硅烷和氨通电。这个过程是有效的，需要很少的能量才能蚀刻所需的图桉。NOVELLUS Aura 3010拥有先进的智能过程控制技术，可以检测蚀刻过程中的任何缺陷或意外错误。这允许用户修改或更正蚀刻工艺参数,以确保所需的电路和模式具有很高的可重复性和可靠性。光环3010设计具有较高的吞吐率和卓越的精确度。它还具有快速的设置时间，可用于快速生成复杂的电路模式。此外，它还简化了维护和数据收集功能，使晶片易于处理和评估产生的电路模式。GASONICS/NOVELLUS Aura 3010还吹嘘材料兼容性和突出的均匀性，意味着潜在困难的材料仍然可以轻松处理。它具有顶板高度均匀的蚀刻能力，不需要频繁调整蚀刻参数。这进一步保证了结果的一致性和可靠性。GASONICS Aura 3010是蚀刻复杂电路图样和表面的理想工具，简单、准确、可靠。它具有快速的吞吐量、高精度、易于维护和卓越的材料兼容性,使其成为需要尽快可靠地生产高质量集成电路的企业的理想选择。
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