二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #9111883 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010是一款为半导体晶圆加工而设计的高级蚀刻器/asher。利用先进的真空、腔室和工艺材料的独特功能,以及独特的原位表面清洁方法,它提供灵活高效的反应能力,可通过多个蚀刻/灰烬堆栈进行处理。此外,系统还配备了一系列集成的光学、声学和热传感器,可确保精确执行过程配方,并可监控腔室的存在、热梯度和曝光时间。其结果是一个非常强大的蚀刻/asher与各种不同的工艺配方anda广泛的工艺时间。GASONICS Aura 3010具有超高真空室,可为晶圆加工提供清洁和受控的环境。通过高端真空技术和先进材料的结合开发，这种先进的腔室提供了低温、低污染的蚀刻/灰烬环境。此外,它的单晶片工艺负载锁定结构使腔室与周围区域完全隔离,并将污染减少到一定程度,从而确保一致的高质量处理结果。NOVELLUS Aura 3010进一步配备了一套先进的製程工具，例如蚀刻/灰通量器，以及提供高效率晶圆均匀性的无桨、无吹扫、超高可靠性、热梯度控制。其先进的光学系统也被设计为降低溅射速率和最大化蚀刻均匀性。此外，它的控制器可以自动控制原位清洗和晶片加载，以尽量减少操作员暴露时间。最后,Aura 3010能够提供多种蚀刻/灰分工艺配方,包括单步蚀刻、双步蚀刻、后蚀刻、组合蚀刻、后蚀刻/灰分、快速蚀刻、钝化蚀刻和间隙填充等。这使得它可以处理各种晶圆尺寸、材料和厚度。其加工时间的总范围也进行了微调，以适应半导体行业不断变化的需求。因此，它能够提供超短的处理时间，增加吞吐量，减少缺陷和优异的产量。