二手 GASONICS / NOVELLUS Aura #293824587 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura是一款先进的蚀刻和asher设备，设计用于中高容量生产集成电路。它利用获得专利的双工艺过程,结合了多种工艺技术,为各种材料、几何形状和特征尺寸提供卓越的效果。GASONICS Aura可以以高分辨率处理介电层和金属层，需要最小的加工室和硬件。它采用了低密度和高密度等离子体的创新组合，以产生低缺陷水平和经济效益的高质量。NOVELLUS Aura提供了全方位的功能以实现高质量的效果。这些功能包括卓越的过程控制、低压操作以实现最佳的电气性能,以及用于快速故障排除的工具诊断。系统还具有许多高级流程参数,使用户能够自定义蚀刻和灰化流程以满足其应用程序的特定需求。这包括蚀刻速率、功率密度、屏幕尺寸以及利用多种工艺配方确保最佳结果的能力。此外,该单元还具有内置的优化程序保存和自定义宏编程功能,使用户能够根据需要自定义配方。光环能够产生精确和精确的特征尺寸,同时仍然能够处理各种材料、几何形状和特征尺寸。这为各种应用程序提供了更大的灵活性和改进的结果。该机具有用户友好的界面，采用了具有工艺和设备状态显示、自动记录保存和先进机器控制功能的触摸屏技术。这使得工具的设置和操作容易得多，提高了效率。GASONICS/NOVELLUS Aura与我们的许多其他产品兼容,包括后处理系统、掩蔽系统和计量工具,从而降低了与拥有多种处理工具相关的成本。此外,公司还提供经验丰富的客户服务和技术团队的持续维护、培训计划和支持。
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